[VIP第1年] 指数:3
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，沈阳曝光机真空泵，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到较佳配置，选择真空系统时，应考虑确定工作真空范围，必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。用于实验室中的真空泵，一般具有体积小，沈阳曝光机真空泵，沈阳曝光机真空泵、重量轻、无油、方便移动/携带等特点。沈阳曝光机真空泵
罗茨真空泵结构特点：（1）在较宽的压力范围内有较大的抽速；（2）转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大幅度降低驱动功率，从而可实现较高转速；（3）泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；（4）泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；（5）压缩比较低，对氢气抽气效果差；（6）转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。罗茨真空泵近几年在国内外得到较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了普遍的应用。连云港久信油泵每隔适当的时间，要冲洗真空泵腔内的异物。
真空泵的参数计算：流量。单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。压力或压强：气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。标准大气压：压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。极限真空:真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，较后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
旋片真空泵：装有滑片的偏置转子在泵腔内作回转运动，使由滑片分隔的泵腔工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵，又称滑片真空泵。它主要由泵体（静子）和转子组成。工作原理：在转子槽中装有两块以上的滑片，有些泵滑片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2～3微米。转子旋转时，在离心力等作用下,滑片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小，吸入腔内的气体被压缩，待气体压力高于大气压力时，推开排气阀排出大气。转子连续转动,泵便不断抽气。真空泵应用在石油、化工、生物制药领域。
冬季真空泵的维护保养方法：真空泵设备本身的优点很多，但是不要再过冷的环境下运用，运用前能够先恰当的预热，向轴承体内加入轴承光滑机油，调查油位应在油标的中 心线处，光滑油应及时替换或补充，关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。点动电机，试看电机转向是否正确，如发现真空泵有反常声响应立即泊车查看原因。尽量操控真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵高效率点工作，才能获得大的节能效果，经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏状况正常以成滴漏出为宜。真空泵长时间停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。定时查看轴套的磨损状况，磨损较大后应及时替换。水环式真空泵的轴承有时受到外界环境的影响或者使用不当会出现发热的现象。沈阳曝光机真空泵
干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。沈阳曝光机真空泵
真空泵的机械选择：⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。沈阳曝光机真空泵
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